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尊龙凯时科技分享:芯片的晶圆级封装制程

宣布日期:2023-05-06 宣布者:尊龙凯时科技 浏览次数:5720

芯片的晶圆级封装制程

晶圆级封装或 WLP ,是一种在晶圆级执行的 IC 封装手艺。这意味着封装是在整个晶圆上举行的 ,只有在封装完成后才华切割晶圆。在晶圆级封装中 ,组装中使用的组件(例如凸块)应用于晶圆预切割 ,例如在晶圆级。在古板的半导体制造中 ,晶圆首先被切割成单独的裸片 ,然后组装成半导体封装 ,如 QFN 或 BGA。

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图 1:晶圆级封装

除了体积小和本钱低的优势外 ,晶圆级封装还提供晶圆级晶圆制造、测试的集成 ,从而实现更精简的制造历程 ,简化器件从硅基到制品交付的历程客户产品。

晶圆级封装也称为芯片级封装 (CSP) ,主要分为两种封装类型:扇入型和扇出型。

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图 2:扇入和扇出封装类型。扇入 (WLCSP) 实质上是一个凸块芯片

在晶圆级封装泛起之前 ,使用导线将芯片毗连到基板 ,从芯片的边沿到基板上响应的引脚/焊盘 ,这一历程称为引线键合。引线键合有两个主要问题:电气性能低 ,因此不适合高性能和高频应用 ,以及每个芯片的引线数目限制 ,从而对相关芯片的数据传输能力造成很大障碍。

随着时间的推移和摩尔定律的影响越来越显着 ,电路一直缩小和缩小 ,这使得电线变得更细和更长 ,从而爆发了更多的问题 ,例如铺张功率和时序滞后。这导致不可阻止地过渡到倒装芯片封装 ,这解决了使用引线键合引起的许多功效障碍。倒装芯片制造手艺包括用整个晶圆顶外貌的焊料凸块(称为焊盘或互连点)取代导线 ,从面积的角度来看 ,会增添电气毗连的密度。切割晶圆后 ,芯片被翻转并通过凸块或铜柱附着到基板上。

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晶圆级封装 ,有时称为WLCSP(晶圆级芯片级封装) ,是现在市场上可用的最小封装手艺 ,由 OSAT(外包半导体组装和测试)公司提供 , 真正的 WLP 封装虽然是由晶圆和RDL(再漫衍层)、中介层或 I/O 间距形成的 ,所有这些都用于重新排列管芯的引脚/触点 ,以便疏散开并足够大以提供更好和更容易处置惩罚。

晶圆级封装的类型

WLP 主要可分为两大类:扇入 WLP(FIWLP 或 WLCSP)和扇出 WLP(FOWLP 或 eWLB)。两者之间的区别在于插入器级别。在 FIWLP 的情形下 ,内插器与裸片尺寸相同 ,而在 FOWLP 封装中 ,内插器比裸片大 ,类似于古板的 BGA 封装。

FOWLP 和 FIWLP 与 BGA 封装的区别在于 ,在 WLP 封装的情形下 ,内插器直接应用在晶圆上 ,而不是使用倒装芯片手艺 ,其中 BGA 芯片毗连并回流到内插器。在 FIWLP 和 FOWLP 封装中 ,芯片和内插器可以封装在 ;ぶ柿现 ,例如环氧树脂或耐热塑料。

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图 3:WLP 侧面结构图

晶圆级封装的用途和利益

由于 I/O 需求一直增添 ,并且需要越来越大的互连密度。这爆发了 RDL(重新漫衍层) ,它通过导电金属迹线重新路由芯片的毗连。

RDL 也很有用 ,由于它使 WLP 封装能够包括具有差别功效的差别芯片 ,这成为系统级封装 ,简称 SiP。这些封装系统经常用于移动装备市场 ,由于它们可以做得很是紧凑以顺应空间限制 ,并且它们还将所有需要的功效打包到一个结构中。

使用 WLP 要领的另一个利益是能够笔直堆叠芯片和/或水平平铺芯片。这导致了 2.5D 和 3D IC 的生长 ,它们使用 FOWLP 手艺和/或 TSV 来毗连多层麋集水平互连(由铜制成) ,并以更低的功耗确保更高的带宽。

当只使用TSV时 ,我们说IC在制造历程中使用2.5D空间排列 ,简称2.5D IC。当我们添加多个芯片并将它们堆叠在一起时 ,我们需要用凸点和/或 RDL(若是需要)将它们毗连起来 ,这会建设一个重大的 3D 结构 ,因此将此类 IC 命名为 3D IC。

这项新手艺被用于效劳器领域、图像传感器、游戏机、高端超等盘算、人工智能和 IoT(物联网)装备。由于业界尚未对 WLP 要领举行标准化 ,因此可以思量多种差别的可用计划。该决议归结为装备制造商对可靠性、本钱、功耗、性能甚至形状因素施加的特定主要性。

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