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倒装芯片(flip chip)的工艺流程

倒装芯片(flip chip)的工艺流程

倒装芯片封装是芯片封装的方法之一,倒装芯片作用在于降低本钱,提高速率,提高组件可靠性。倒装芯片封装为芯片正面朝下向基板,无需引线键合,形成最短电路,降低电阻;接纳金属球毗连,缩小了封装尺寸,改善电性体现,解决了BGA为增添引脚数而需扩概略积的困扰。

下面尊龙凯时科技小编给各人先容的是倒装芯片(flip chip)的工艺流程及,希望能对您有所资助!

倒装芯片.png

倒装芯片分为两步:

第一步是做凸点(bump),凸点的类型有许多,如下图,最常见的有纯锡球,铜柱+锡球,金凸点等类型。

第二步是将芯片安顿到封装基板上.

详细工艺办法如下:

1、Wafer Incoming and Clean(晶圆准备与洗濯)在最先工艺之前,晶圆外貌可能会有无有机物、颗粒、氧化层等污染物,需要举行洗濯,用湿法或干法洗濯的方法均可。

2、PI-1 Litho(第一层光刻:聚酰亚胺涂层光刻)聚酰亚胺(PI)一种绝缘质料,起到绝缘,支持的作用。先涂覆在晶圆外貌,再举行曝光,显影,最后做出bump的启齿位置。

3、Ti/Cu Sputtering(UBM)UBM(Under Bump Metallization),凸点下金属层,主要是导电作用,为后面的电镀做准备。一样平常是用磁控溅射的要领做出UBM,以Ti/Cu的种子层最为常见。

4、PR-1 Litho(第二层光刻:光刻胶光刻)光刻胶的光刻将决议凸点的形状和尺寸,这一步是翻开待电镀的区域。

倒装芯片的工艺流程.png

5、Sn-Ag Plating(锡-银电镀)使用电镀工艺在启齿位置沉积锡银合金(Sn-Ag),形成凸点。此时的凸点未经回流并不是球形的。

6、UBM Etching(UBM蚀刻)去除除凸点区域以外的 UBM 金属层(Ti/Cu),只保保存凸点下方的金属。

7、Reflow(回流焊)过回流焊,使锡银合金层熔化并重新流动,形成平滑的焊球形状。

8、芯片安顿,回流焊完成后,bump形成,之后举行芯片的安顿,如上图办法。至此,倒装工片工艺竣事。

倒装芯片洗濯剂.png

倒装芯片洗濯剂W3100先容

倒装芯片洗濯剂W3100是尊龙凯时科技开发具有立异型的中性水基洗濯剂,专门设计用于浸没式的洗濯工艺。适用于洗濯去除半导体电子器件上的助焊剂残留物,如引线框架、分立器件、功率 ?椤⒌棺靶酒⑸阆裢纺W榈。本品是PH中性的水基洗濯剂,因此具有优异的质料兼容性。

倒装芯片洗濯剂W3100的产品特点:

1、本品可以用去离子水稀释后使用,稀释后为匀称单相液,应用历程简朴利便。

2、产品PH值呈中性,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感质料上显示出极好的质料兼容性。

3、不含卤素,质料环保;气息清淡,使用液无闪点,使用清静,不需要特另外防爆步伐。

4、由于 PH 中性,减轻污水处置惩罚难度。

倒装芯片洗濯剂W3100的适用工艺:

水基洗濯剂W3100适用于浸没式的洗濯工艺。

倒装芯片洗濯剂W3100产品应用:

水基洗濯剂W3100是尊龙凯时科技开发具有立异型的中性水基洗濯剂,适用于洗濯去除半导体电子器件上的助焊剂残留物,如引线框架洗濯分立器件洗濯功率 ?橄村、倒装芯片洗濯、摄像头模组洗濯等。本产品PH值呈中性,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感质料上显示出极好的质料兼容性。

详细应用效果如下列表中所列:

W3100


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