半导体制造质料(3)-电子特气

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊质料气体三大类。电子气体是生长集成电路、光电子、微电子，特殊是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体质料制造历程中不可缺氨赡基础性支持源质料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”。

电子特种气体又称电子特气，是电子气体的一个分支，相较于古板工业气体，纯度更高，其中一些具有特殊用途。电子特气普遍应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技工业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、洗濯，或用作载气、；て盏鹊。电子特气是集成电路、显示面板、太阳能电池等行业不可或缺的支持性子料。

一、电子特气生产历程：

特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处置惩罚、气体充装、气体剖析检测。气体合成是将质料在特定压力、温度、催化剂等条件下，通过化学反应获得气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方法将粗产品精制成更高纯度的产品。气体混配是将两种或两种以上有用组分气体凭证特定比例混淆，获得多组分匀称漫衍的混淆气体。气瓶处置惩罚是凭证载气性子及需求的差别，对气瓶内部、内壁外貌及外观举行处置惩罚的历程，以包管气体存储、运输历程中产品的稳固。气体充装是指通过压力差将气体充入气瓶等压力容器；气体剖析检测即为对气体的因素举行剖析、检测的历程。

二、电子特气分类：

凭证制备要领和应用领域的差别，工业气体可以分为大宗气体和特种气体。大宗气体包括空分气体(由空气疏散获得)和合成气体，该类气体产销量大、对纯度要求低，主要用于化工能源、金属冶炼、机械制造等；特种气体可分为高纯气体、标准气体和电子特种气体。电子特气的下游应用包括集成电路IC、显示面板(LCD、OLED)、光伏、LED等。

图1.工业气体的分类及应用

集成电路制造需经由硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等工艺环节，这个历程中需要的高纯特种气体和混淆气体的种类凌驾50种，且每一种气体应用在特定的工艺办法中。别的，在显示面板、LED、光伏电池片等器件的制造中的差别工艺环节均会用到多种特种气体。

表1. 电子特气在差别领域的应用

凭证应用领域，将电子特气细分为刻蚀用气体、CVD 用气体、稀释气体、掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、发光二极管用气体等。

表2. 电子特气在差别领域的应用

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