半导体制造质料(6)-湿电子化学品

湿电子化学品（Wet Chemicals）又称工艺化学品，是指主体因素纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数切合严酷标准的化学试剂。普遍用于芯片、显示面板、太阳能电池、LED 等电子元器件微细加工的洗濯、光刻、显影、蚀刻、掺杂等工艺环节。在IC芯片制造中，湿电子化学品可有用扫除晶圆外貌残留污染物、镌汰金属杂质含量，为下游产品质量提供包管。

一、湿电子化学品生产历程：

电子湿化学品的主要工艺流程包括质料吸收、纯化、吸收、混配等，其中焦点工艺环节包括纯化和混配。纯化主要通过接纳杂质离子深度反应，超重力反应/耦合疏散等工艺，实现了杂质离子深度疏散
；使用纳滤膜疏散手艺，实现微纳颗粒的高效疏散去除。功效电子湿化学品会涉及混配工艺，按需设计配方后将多种纯化后产品与添加剂举行细密混配。

图1. 湿电子化学品生产流程

湿电子化学品的要害生产手艺包括混配手艺、疏散手艺、纯化手艺以及与其生产相配套的剖析磨练手艺、情形处置惩罚与监测手艺、包装手艺等。

表1. 湿电子化学品要害手艺

二、湿电子化学品应用分类：

凭证组成因素和应用工艺差别，湿电子化学品可分为通用湿电子化学品和功效湿电子化学品，通用湿电子化学品一样平常为单组份、单功效、被大宗使用的液体电子化学品，例如酸类、碱类、有机溶剂类等
；功效湿电子化学品指通过复配手段抵达特殊功效、知足制造中特殊工艺需求的化学品，如剥离液、显影液、刻蚀液、洗濯液等。 

表2. 湿电子化学品分类

湿化学品作为对产品性能、可靠性、制品率有直接影响的要害性子料，通常要求超净、高纯，关于金属杂质、颗粒数等都有严苛的要求。凭证SEMI标准，湿化学品通？捎傻偷礁叻治狦1-G5五个品级，关于金属杂质、颗粒数等的要求也依次更高，而差别应用领域关于湿化学品的要求也差别，要求最高的IC制造领域通
；嵋蟮执颎4、G5品级。

表3. 湿电子化学品手艺标准

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