半导体零部件(1)-真空泵

真空手艺是建设低于大气压力的物理情形，以及在此情形中举行工艺制作、物理丈量和科学试验等所需的手艺。真空手艺主要包括真空获得、真空丈量、真空检漏和真空应用四个方面。真空获得装备，即获得、改善和（或）维持真空情形的装置，主要指真空泵，是真空手艺中最要害的装备种类。

真空相关知识：

真空是指在指定空间内低于情形大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子数密度。完全没有气体的空间状态称为绝对真空，现实上是不保存的。在真空手艺中，常用真空度来权衡真空状态下空间气体的稀薄水平，通常真空度用气体的压力值来体现。压力值越高，真空度越低
；压力值越低，真空度越高。

常用的压力单位为Pa，1Pa压力是在1平方米的面积上作用1N的力
；别的尚有标准大气压1atm、托Torr、巴Bar等压力单位。一样平常以为在标准情形下760mm高的汞柱爆发的压力为1atm，即1atm=760mmHg=101325Pa
；1Torr=1/760 atm
；1Pa=10ubar（微巴）=10^-2 mbar （毫巴）。

通？梢园颜婵斩然治韵虑危旱驼婵，10^5 Pa-10^2 Pa
；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa
；高真空，10^-1 Pa-10^-5 Pa
；超高真空，＜10^-5 Pa。

表1：真空度划分规模及应用领域

真空泵分类及作用机理：

凭证事情原理的差别，真空泵分为气体传输泵和气体捕集泵两大类。

气体传输泵可以被进一步分为变容真空泵和动量真空泵两类。变容真空泵是使用泵腔容积的周期转变来完成吸气和排气的装置，气体在倾轧前被压缩？煞治词胶托搅街帧６空婵毡檬峭ü咚傩囊镀蛏淞，把动量传输给气体或者气体分子，使气体一连一直的从入口传输到出口的真空泵。

气体捕集泵是使气体分子被吸附或冷凝而保保存泵内外貌上的一种真空泵，主要包括吸附泵、吸气剂泵、升华（蒸发）泵、吸气剂离子泵、低温泵等类型。

表2：气体传输泵的分类及应用

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