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突发!全球光刻机龙头ASML TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机发货允许证

尊龙凯时科技 ? 5676 Tags:光刻机ASML出口允许证NXT:2050i
2024年1月1日,全球光刻机龙头ASML官网宣布声明称,荷兰政府最近吊销了该公司2023年发货TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机的部分允许证,这会对其少数中国客户爆发影响。

作废允许证的一个大配景,就是2023年美国宣布了出口管制新规,进一步收紧了对中国的装备出口,而ASML作为芯片焦点装备制造商,也受到影响。不过,其时ASML高管曾谈到,适用该新规的涉及先进芯片制造的中国晶圆厂数目有限。

ANNOUNCEMENT .VELDHOVEN,THE NETHERLANDS,JANUARY 12 0 2 4

A license for the shipment of NXT:2050i and NXT:2100ilithography systems in 2023 hasrecently been partially revoked by the Dutch government, impacting a small number ofcustomers in China

We do not expect the current revocation of our export license or the latest U.S. export controlrestrictions to have a material impact on our financial outlook for 2023

In recent discussions with the US government,ASML has obtained further clarification of thescope and impact of the US export control regulations. The latest US export rules (publishedOctober 17,2023)impose restrictions on certain mid critical DUV immersion lithographysystems for a limited number of advanced production facilities.

ASML is fully committed to comply with all applicable laws and regulations including exportcontrol legislation in the countries in which we operate.

TWINSCAN NXT:2050i

TWINSCAN NXT:2050i 是最先进的浸没式光刻系统设计与先进镜头设计的连系,其数值孔径 (NA)为 1.35,这是现在半导体行业中最高的。该步进扫描系统是一款高生产率的双级工具,专为批量生产而设计。

通过将高生产率与亘古未有的笼罩性能相连系,该系统知足了多种图案化要求,为在先进逻辑和 DRAM 节点制造 300 毫米晶圆提供了经济高效的解决计划。

image.png

TWINSCAN NXT:2100i

TWINSCAN NXT:2100i 是TWINSCAN NXT:2050i的后继产品。其新的硬件和软件立异使单机笼罩率提高了 10% (0.9 nm),匹配机笼罩率提高了 13% (1.3 nm)。

NXT:2100i 接纳了新的镜头畸变使用器 ,为芯片制造商提供了亘古未有的校正能力。它使系统能够改善 DUV-EUV 交织匹配叠加。通过将 4 色丈量增添到 12 色以及在晶圆丈量侧添加更多瞄准标记丈量,可以提高瞄准精度。种种软件算法也已更新,以提供刷新的场间和场内叠加控制。

image.png

ASML声明如下:

荷兰政府近期作废部分2023年NXT:2050i及NXT 2100i微影系统之出口允许证,对少数位于中国的客户爆发影响。
我们预期,目今出口允许证的作废或美国最新的出口管制限制步伐,不会对我们2023年的财务远景爆发重大影响。
在最近与美国政府的讨论中,ASML获得了美国出口管制规则的规模和影响的进一步明确。美国最新出口规则(2023 年 10 月 17 日宣布)对有限数目的先进生产设施的某些中要害 DUV 浸没式光刻系统施加了限制。
ASML 致力于遵守所有适用之执法和规范,包括我们运营所在国家之出口管制规范。


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