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半导体行业超纯水水质标准
半导体工业需要大宗的超纯水 ，随着半导体工业的生长 ，对超纯水水质的要求日趋严酷。目今半导体工业的超纯水的水质指标要求 ，甚至严酷于我国国标电子水的最高标准要求 ，如微粒子 ，TOC ，电阻率 ，消融氧等。因此 ，相比于其他行业的超纯水 ，需要越发严酷的深度处置惩罚手艺 ，如深度处置惩罚颗粒物 ，有机物 ，深度脱盐 ，深度脱气手艺等等。其部分参考标准如下：
ASTM-D5127-2007《美国电子学和半导体工业用超纯水标准》
中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997
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